M-TECH
             
     

 

調整用ピボット可変
6軸ステージ システム
(分解能 100nm)

 

     
                   
   


特徴

* ファイバーアライメントでピボットを可変できる。
* ナノ精度で遠隔操作が出来る。
* 簡単に高精度の光学アライメントが出来る。
* 対象物が簡単に取り付けられる。
* システムが簡素になる。

   
                   
 



Technical Data

Linear Positioning

Range ------------------ 7mm
Closed loop resolution --- 100nm
Design resolution --------- 5nm
Maximum velocity----- 2mm/sec.